特許取得！(No.4174915) 全自動ｳｴﾊｰｴｯﾁﾝｸﾞ ◎仕様：8インチ300mm ◎両面エッチング可能 ◎当社専用のメカグリップ 全自動スピンコーター カセットツーカセット ◎仕様 　　4～6ｲﾝﾁ対応 ◎カスタマイズ可能 　　・コントローラ 　　・駆動 　　・チャンバー 　　・ノズルアーム 　　・チャック ◎グレードアップ可能 業界に先駆けて開発！ 縦形ﾏｽｸ洗浄装置の 元祖です！ ◎あらゆる形の板が 　洗浄可能 ◎搬送時に乱気流を 　発生させないので 　ゴミの再付着が無く 　クリーンが保たれる フッ酸と発煙硝酸の 洗浄装置 有機溶剤による ﾊﾞｯﾁ式ｳｪｯﾄ洗浄装置 2バッチの自動洗浄装置 ◎搬送可能ｳｴﾊｰｻｲｽﾞ 　　4、5、6　ｲﾝﾁ ◎各種ｴｯﾁﾝｸﾞ液（硫酸, 　　硝酸,フッ酸etc）による 　　洗浄可能 ◎関係機種: 　　水晶ｴｯﾁﾝｸﾞ装置 　　ﾍﾞﾙｼﾞｬｰ洗浄装置 業界に先駆けて開発！ 洗浄装置の元祖です！ セラミック基板の金ﾒｯｷ装置 ←こちらの 【最新半導体工場自動化ｼｽﾃﾑ総合技術集成】 に弊社の装置が紹介されています。 ◎ｳｴﾊｰｻｲｽﾞ　300mm ◎マスクの対応サイズ  　　5、6、9　インチ ◎薬液温度ｺﾝﾄﾛｰﾙ付き ◎ｴｯﾁﾝｸﾞ終点の検出付き ◎マニュアル式 ﾏｽｸに貼り付られたﾍﾟﾘｸﾙ 保護膜を剥がし取る装置 ◎お問い合わせはコチラ↓ 　シグマメルテック（株） 高温槽内で攪拌可能 ◎電源　DC24V ロール巻きされたシート材の表面に付着したゴミや剥離剤を洗浄する装置 ◎洗浄度　クラス10 ◎伸縮性シート材にも対応(当社の特許) ◎有機溶剤による洗浄も特注仕様にて作製可能 ◎お客様の洗浄テストを代行いたします！ 機械を買うほどではないけれど、1枚だけ試験的に洗浄してみたい・・・。 そんな会社におススメです♪ 既設装置への取付けが簡単なｳｪｯﾄｽﾃｰｼｮﾝ用ｳｴﾊｰ搬送装置 ◎制御 　　専用ボード ◎搬送用キャリア 　　・ﾊﾝｶﾞｰ式 　　・ﾀﾞｲﾚｸﾄﾁｬｯｸ式 ◎搬送方式 　　お客様のご希望により製作可能