| 【 自動 （オート） 】
★ スピンエッチング装置
☆ スピンコーター装置
★ マスク洗浄装置
☆ 有機洗浄装置
★ レチクルマスク洗浄装置
☆ バッチ式ガラス基盤洗浄装置
★ バッチ式ウエハー洗浄装置
☆ 水晶エッチング装置
★ ウエハー自動エッチング装置
【 手動 （マニュアル） 】
★ スピンエッチング装置
☆ スピンコーター装置
★ マスク洗浄装置
☆ マニュアルマスク洗浄装置
★ 卓上ﾏﾆｭｱﾙスピンコーター
☆ 卓上ﾏﾆｭｱﾙスピンエッチャー
【その他】
★ ペリクル剥離装置
☆ ウエハー平面度測定器
★ ウエハーポリッシング装置
☆ 搬送ロボット
★ フイルムシート洗浄装置
☆ 排気バルブ
★ スピンドライヤー |  | ● コネクター外観検査装置
○ 磁気トルク測定装置
● レーザー測長器
| | | | | | ■ CNCプラズマ切断装置
□ ヒートボンドラミネーター
■ 基盤捺印装置
□ ロータリープレス
■ 温水部品洗浄装置
□液面追従装置
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